型 号: Function10128
行 程: X轴 1000 mmY轴1200 mmZ轴800 mm
结构型式:移动桥式
传动方式:直流伺服系统+ 预载荷高精度空气轴承
长度测量系统:RENISHAW开放式光栅尺,分辨率为0.5μm
机台:高精度花岗岩平台
使用环境:温度(20±2)℃,湿度55%-65% ,温度梯度1℃/m,温度变化 1℃/h
空气压力:0.6 MPa - 0.8 Mpa
空气流量:140 L/min – 160 L/min
整机尺寸(LWH):2.45 m X 1.75 m X 3.25m
机台承重:1200 kg,整机重量:4500Kg
空间测量精度:(4+L/300)μm